Q. PHOTO TRACK에서 EBR 질문있습니다.

답변 6

• P

  PRO액티브현대트랜시스

  코전무 ∙ 채택률 100%

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  채택된 답변

  Pro DICE 설비의 EBR(Edge Bead Removal) Start-up 과정에서 고객이 제공한 산포도는 일반적으로 EBR Cut Width의 균일도(Uniformity)와 위치 편차​를 확인하기 위한 계측 결과인 경우가 많습니다. EBR Cut Width Adjustment에서 PR 위치를 조정한 뒤 고객이 웨이퍼를 계측하면, 여러 지점에서 측정한 EBR 폭을 기반으로 산포도를 제공하고 이를 참고해 다시 Offset이나 PR 위치를 미세 조정하는 방식으로 튜닝을 진행합니다. 질문하신 x, y값은 회사와 계측 장비에 따라 다르지만, 보통은 X축이 웨이퍼의 측정 위치(또는 측정 포인트, 각도 0°~360°)​이고, Y축이 EBR Cut Width(μm 또는 mm)​인 형태가 가장 일반적입니다. 일부 고객은 웨이퍼 좌표(X-Y Position)를 기준으로 맵 형태의 데이터를 제공하기도 하며, 이 경우 x와 y는 실제 웨이퍼상의 좌표를 의미하고 각 좌표에서의 EBR 폭이나 편차를 확인할 수 있습니다. Start-up 과정에서는 평균 Cut Width뿐만 아니라 최대·최소값, 산포(3σ), 목표값 대비 편차 등을 함께 확인하여 PR 위치를 조정하는 경우가 많습니다. 따라서 당시 보셨던 산포도도 단순히 한 점의 측정값이 아니라 웨이퍼 전체에서 EBR이 얼마나 균일하게 형성되었는지를 확인하기 위한 데이터였을 가능성이 높습니다. 만약 고객이 사용한 계측 장비가 KLA, Hitachi, Camtek 등 어떤 장비였는지, 또는 산포도가 선 그래프였는지 XY 맵 형태였는지를 기억하신다면 x축과 y축의 의미를 더 구체적으로 설명드릴 수 있습니다.

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  댓글 1

  g

  gusdn5233

  작성자

  2026.07.05

  TEL의 CT 트랙장비였습니다!

• 청

  청자백자삼성전자

  코사원 ∙ 채택률 50% ∙

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  일치

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  안녕하세요 현장 실습에서 EBR의 개념에 대해서는 배우셨죠? EBR이 Edge Bead Rinse의 약자로 PR 도포 후 웨이퍼의 Edge 부분을 Rinse화 해서 날리는건데 PR을 진행하는 Unit이 Spin부이고 Wafer 또한 원형이기에 원형의 Edge 부분에 EBR이 만들어집니다 이때 Edge 부분이 얼마나 따졌는지를 x,y 좌표축으로 해서 값을 표시합니다 +x-x+y-y 총 4방향의 값을 확인 해 특정 양산 제품에 spec에 맞게 ebr이 생성됐는지 확인하는 값입니다

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• 

  안경공대남삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 64% ∙

  회사

  일치

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  EBR Cut Width Adjustment 시 확인하는 산포는 회사나 고객의 측정 레시피에 따라 조금씩 다를 수 있어 특정 X, Y 좌표를 말씀드리기는 어렵습니다. 다만 일반적으로는 Wafer Center부터 Edge까지 여러 측정 지점에서 EBR Width를 측정한 뒤, Wafer Map 형태 또는 X-Y 좌표 기반의 분포를 확인하는 경우가 많습니다. 이를 통해 특정 방향으로 편심(Eccentricity)이 있는지, 360° 방향으로 EBR Width가 균일한지를 평가합니다. PR 위치를 조정하는 것도 결국 EBR Width의 평균값뿐 아니라 Wafer 전체 Uniformity를 맞추기 위한 목적이 크기 때문에, 단순히 한 지점의 값보다 전체 분포를 보고 판단하는 경우가 많습니다. 실습에서 보신 내용도 이러한 균일도(Uniformity)와 Offset을 확인하기 위한 데이터였을 가능성이 높습니다.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 57% ∙

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 제공하는 고객에게 문의하셔야 될 거 같아요 그런 측정 데이터는 회사에서 정한 내용이 따로 있거든요! 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• 

  합격 메이트삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 79% ∙

  회사

  일치

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  멘티님. 안녕하세요. ​포토 트랙 설비의 EBR 공정에서 계측을 통해 제시되는 산포도의 x, y값은 주로 웨이퍼 중심을 기준으로 한 노즐의 물리적 위치 좌표를 의미합니다. 노즐 조정 작업인 EBR cut width adj 과정에서 PR 잔여물이 남지 않도록 웨이퍼 가장자리의 분사 정밀도를 측정하는 산포도로 이해하시면 됩니다. ​분사 위치가 중심에서 얼마나 벗어났는지 각 좌표별 편차 데이터를 표로 시각화하여 설비의 정밀도를 조절하는 지표로 활용합니다. 현장실습 당시 직접 설비를 셋업하며 데이터를 다뤄본 정밀 제어 경험은 면접관에게 엔지니어로서의 실무 감각을 어필하기에 훌륭한 스토리입니다. ​응원하겠습니다.

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

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  일치

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  헉 이거는 대외비라서 산포도가 얼마의 3시그마값을 갖고 x,y등은 알려주실 분이 없지않나싶습니다 꼭 값이.정확해야하는건 아니니 대략적인 값 수치로 제시하셔도 됩니다

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